تطوير مصنع الأكسجين VPSA

في عام 1891، بدأت شركة Linde الألمانية العمل على تسييل الهواء في مختبر شركة تصنيع آلات التبريد.
في عام 1895، صنع البروفيسور ليند أول جهاز هواء سائل باستخدام تأثير جول طومسون.
في عام 1901، أنشأت شركة Linde مصنعًا لتصنيع المعدات المبردة في ميونيخ.
في عام 1902، تم الانتهاء من معدات فصل الهواء لأول برج تصحيح أحادي المرحلة صممه ليندي. اخترع الفرنسي كروت آلة التوسيع وأنشأ شركة تسييل الهواء في باريس.
في عام 1903، صنعت شركة ليندي أول مولد أكسجين صناعي بقدرة 10 متر مكعب في الساعة، وذلك باستخدام عملية الاختناق ذات الضغط العالي.
في عام 1910، صنعت فرنسا أول مولد أكسجين بقدرة 50 م3/ساعة باستخدام عملية الضغط المتوسط ​​باستخدام آلة توسيع المكبس.
وفي عام 1920، اخترع هايلاند بألمانيا عملية الضغط العالي لإنتاج الأكسجين السائل باستخدام آلة التمدد ذات الضغط العالي.
في عام 1924، اقترح فرانكل أنه في معدات فصل الهواء الكبيرة، يجب استخدام المبردات المملوءة بالمعدن بدلاً من المبادلات الحرارية العادية.
في عام 1926، اقترح فرانكل الشكل الشائع للمراكم الباردة.
في عام 1930، قامت شركة Linde بتصنيع أول وحدة Linde Frankel على نطاق صناعي بقدرة إنتاجية تبلغ 255 مترًا مكعبًا في الساعة ونقاء 99.5 بالمائة O2.
في عام 1932، تم استخدام الموسع التوربيني لأول مرة في وحدة Linde-Frankel. تم استخدام الأكسجين لأول مرة في صناعة المعادن وتركيب الأمونيا في ألمانيا.
في عام 1939، أنشأ الاتحاد السوفيتي موسعًا توربينيًا عالي الكفاءة، وبدأ في دراسة معدات فصل الهواء ذات الضغط المنخفض بالكامل.
في عام 1947، كرست Linde نفسها لمعدات تصنيع الأكسجين الصناعي ذو الضغط السفلي الكامل. بدأ الاتحاد السوفييتي في تصميم محطات الأكسجين الصناعية الكبيرة بعمليات الضغط المنخفض الكاملة.
في عام 1949، الولايات المتحدة لأول مرة في مولد الأكسجين 29000m3/ساعة على تطبيق لوحة تزييفها مبادل حراري.
في عام 1952، استخدمت النمسا لأول مرة محول الأكسجين النقي في صناعة الفولاذ، مما أدى إلى زيادة حادة في الأكسجين المعدني.
في عام 1955، طورت الولايات المتحدة الصواريخ بقوة واستهلكت كمية كبيرة من الأكسجين السائل كمسرّع.
وفي عام 1957، تم تصنيع أول مولد أكسجين يعمل تلقائيًا بقدرة 120 طنًا/يومًا.
في عام 1960، أكملت اليابان إنتاج 10000 م3/ساعة 99.6 بالمائة من الأكسجين و10000 م3/ساعة 99.99 بالمائة من النيتروجين مزدوج عالي النقاء وواسع النطاق ومعدات كاملة الجهد المنخفض.
في عام 1972، صنعت فرنسا أكبر قدرة في العالم لمعدات فصل الهواء بالأكسجين النقي: 1700 طن/يوم O2 و1500 طن/يوم N2.
وحدات أكبر لا تزال قيد الدراسة.