مولد أكسجين PSA للتشكل شبه الموصل

في سياق متطلبات تصنيع أشباه الموصلات العالية للغاية لنقاء الغاز واستقراره ، يستخدم مولد أكسجين PSA تقنية امتصاص الأرجوحة (PSA) ، ويستخدم الهواء كمواد خام ، ويستفيد من الفرق في قدرة امتصاص الغاز للامتصاصات تحت ضغوط مختلفة إلى الأكسجين عالية الأمن. يمكن لمولد الأكسجين إخراج الأكسجين بنقاء دقيق وتدفق مستقر ، وتلبية المتطلبات الصارمة للأكسجين في جميع جوانب تصنيع أشباه الموصلات من معالجة الرقاقة إلى تعبئة الرقائق. يتمتع الجهاز بدرجة عالية من الأتمتة ، ويمكن أن تعمل بشكل ثابت لفترة طويلة ، وتقليل تكاليف التشغيل والصيانة ، ويمكن أن تعدل بشكل مرن معلمات مختلفة لإنشاء حل موثوق وفعال واقتصادي للأكسجين لمصنعي أشباه الموصلات ، مما يساعد صناعة أشباه الموصلات على تحسين كفاءة الإنتاج وجودة المنتج.

إرسال التحقيق

الوصف

معلمات التقنية

لماذا تحتاج صناعة أشباه الموصلات إلى مولدات الأكسجين PSA؟

إمدادات الغاز عالية النقاء:إن تصنيع أشباه الموصلات له متطلبات صارمة على نقاء الغاز ، ولا غنى عن الأكسجين عالي النقاء للطباعة الحجرية والتنظيف والروابط الأخرى. بمساعدة تقنية الامتزاز المتأرجحة للضغط ، ينتج مولد الأكسجين PSA الأكسجين بنقاء بنسبة 95 ٪ ± 3 ٪ ، والذي يفي بمتطلبات تكوين طبقة الأكسيد وتنظيف الرقاقة ، ويتجنب خطر تلوث الشوائب من إمدادات الأكسجين الأسطوانية التقليدية.
ضمان استقرار العملية:تتطلب خطوط إنتاج أشباه الموصلات إمدادات غاز مستمرة ومستقرة. يستخدم مولد Oxygen PSA أبراج امتصاص مزدوجة للعمل بالتناوب ، ومن خلال التحكم الذكي PLC ، يمكن أن يحقق 24- ساعة لا يتجاوز إمدادات الأكسجين دون انقطاع ، وتجنب انقطاع الإنتاج الناتج عن استبدال الزجاجة اليدوية ، والتكيف مع العمليات الحساسة لضغط الهواء مثل موسع الفيلم الرفيع.
تقليل التكاليف وتحسين المساحة:بالمقارنة مع خزانات تخزين الأكسجين السائل واسطوانات الغاز عالية الضغط ، تنتج مولدات الأكسجين PSA الأكسجين في الموقع ، مما يقلل بشكل كبير من تكاليف النقل والتخزين. لديها بصمة صغيرة ويدعم التوسع المعياري ، والذي يلبي احتياجات تعظيم استخدام المساحة في ورش العمل النظيفة لمصانع أشباه الموصلات. تكلفة الاستخدام طويلة الأجل أقل بنسبة 20 ٪ من الطريقة التقليدية.
التكيف مع العمليات الخاصة:في العمليات المتقدمة ، تتطلب بعض العمليات الخاصة التحكم الدقيق في تركيز الأكسجين. يمكن لمولد الأكسجين PSA ضبط نقاء إخراج الأكسجين بمرونة (95 ٪ -99. 9 ٪) عن طريق ضبط ضغط الامتزاز ونسبة الغربال الجزيئي لتلبية متطلبات العملية الخاصة لتصنيع ذاكرة الفلاش 3D NAND.
صديقة للبيئة وسهلة الصيانة:لا تتطلب تقنية PSA الكواشف الكيميائية ، ولا تنبعث عملية إنتاج الأكسجين المواد الضارة ، والتي تلبي معايير حماية البيئة في صناعة أشباه الموصلات. يستخدم الجهاز منبوجات الجزيئية غير القابل للصدأ من الدرجة الغذائية والمنشأة الجزيئية ذاتية التنظيف ، مع دورة صيانة تصل إلى {2}} ، وهي مناسبة لبيئات تصنيع الرقاقة عالية التنظيف.

استشارة مجانية

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

فئة	تفاصيل المعلمة
نقاء الأكسجين	93 ٪ -99. 5 ٪ (يمكن تخصيص نظام ترشيح ULPA ، محتوى شوائب أقل من أو يساوي 1PPB)
ضغط الإخراج	0. 5-1.
نطاق التدفق	10-5000 nm³/h (يدعم التوسع المتوازي للوحدات المتعددة)
نقطة الندى	أقل من أو يساوي درجة -70 (لمنع بخار الماء من تلويث بيئة العملية)
كفاءة الطاقة	أقل من أو يساوي 0. 38kwh/nm³ (محرك تردد متغير عالية الكفاءة ، وتوفير أكثر من 30 ٪)
مستوى الضوضاء	أقل من أو يساوي 65 ديسيبل (هيكل الاهتزاز المنخفض + قذيفة مقاومة للصوت ، تمشيا مع معايير غرفة نظيفة من الفئة 1000)

المزايا الأساسية لمولد أكسجين PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

ضمان نقاء للغاية
يتم استخدام سرير الغربال الجزيئي مزدوج الطبقة ووحدة الأكسدة الحفازة لإزالة الشوائب بعمق مثل الهيدروكربونات و CO₂ ، وتصل نقاء الأكسجين إلى أكثر من 99.5 ٪ ، وتلبية معيار نصف F20. محلل في الوقت الفعلي في الوقت الفعلي ، تزامن البيانات مع نظام SCADA المصنع لضمان استقرار العملية.

التحكم الذكي والتصميم الزائد
نظام التحكم المتكامل PLC+HMI ، يدعم المراقبة عن بُعد ، والتشخيص الذاتي للخطأ ، وتبديل الطوارئ (امتصاص مزدوج الزواج الزائد). تقنية تعويض الضغط التلقائي للتعامل مع الطلب الفوري المتزايد من المعدات أشباه الموصلات.

حل منخفض الكربون لتوفير الطاقة
VPSA (امتصاص الضغط الفراغي) تقلل التكنولوجيا التآزرية من استهلاك الطاقة ، مما يوفر 15 ٪ -20 ٪ مقارنة بوحدة استرداد حرارة النفايات التقليدية PSA.Optional لتقليل حمل حرارة ورشة العمل.

توافق الغرفة النظيفة
جميع قناة تدفق الفولاذ المقاوم للصدأ + طلاء نانو لتجنب تلوث أيون المعادن ؛ صفر تصميم ختم التسرب ، تم تمرير iso 8573-1 الفئة 0.

أنواع نباتات الأوكسجين PSA

المعدات المعيارية

معدات برج التوأم

معدات الحاويات

				NTK95 Series اختيار مولد الأوكسجين
لا.	النماذج	سعة (NM3/HR)	نقاء	استهلاك الطاقة 1NM3 الأكسجين المنتجة (KW/H)	عدد الزجاجات تم الاطلاع في 12 ساعة (PCS)	يحتاج المشغل
1	NTK 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	NTK 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	NTK 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	NTK 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	NTK 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	NTK 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	NTK 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	NTK 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	NTK 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	NTK 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	NTK 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

التعليمات

1. ما مدى ارتفاع نقاء الأكسجين ، وهل تلبي متطلبات تصنيع أشباه الموصلات؟
يمكن أن ينتج مولد الأكسجين PSA الخاص بنا لأشباه الموصلات الأوكسجين بشكل روتيني بنقاء 95 ٪ ± 3 ٪. بالنسبة لبعض العمليات التي تتطلب نقاء الأكسجين العالي للغاية ، من خلال ضبط معلمات المعدات ، يمكن التحكم في نقاء إخراج الأكسجين بمرونة في حدود 95 ٪ - 99.

2. ما مدى استقرار المعدات ، وهل يمكنه ضمان التشغيل المستمر لخط إنتاج أشباه الموصلات؟
تعتمد المعدات وضع عمل مزدوج للامتصاص بالتناوب ، جنبًا إلى جنب مع نظام تحكم ذكي PLC ، لتحقيق 24- ساعة دون انقطاع ومستقر. يتجنب وضع التشغيل الآلي هذا انقطاع إمداد الغاز الناتج عن استبدال الزجاجة اليدوي ، ويوفر إمدادات غاز موثوقة ومستقرة لعمليات مثل ترسب الأفلام الرقيقة والحفر الحساسة لضغط الهواء ، ويقلل بشكل فعال من خطر انقطاع الإنتاج الناتج عن مشاكل إمداد الغاز.

3. مقارنة بطرق إمداد الأكسجين التقليدية ، ما هي تكلفة الاستخدام؟
بالمقارنة مع خزانات تخزين الأكسجين السائل أو أسطوانات الغاز عالية الضغط ، فإن مولد الأكسجين PSA الخاص بنا يعتمد وضع إنتاج الأكسجين في الموقع ، مما يوفر بشكل كبير تكاليف نقل الأكسجين وتخزينه. تحتل الجهاز مساحة صغيرة ويمكن توسيعها بشكل وحدات ، مما يقلل من تكاليف تأجير الموقع. على المدى الطويل ، تكون التكلفة أقل بنسبة 20 ٪ عن طريقة إمدادات الأكسجين التقليدية ، مما يوفر تكاليف التشغيل بشكل كبير.

4. هل صيانة المعدات معقدة؟ ما هي مدة دورة الصيانة؟
من السهل الحفاظ على الجهاز ، باستخدام الفولاذ المقاوم للصدأ من الدرجة الغذائية والنقاش الجزيئي للتنظيف الذاتي ، مما يقلل إلى حد كبير من عبء عمل الصيانة. في ظل الظروف العادية ، تصل دورة الصيانة إلى عام 3-5 ، ونحن مجهزة بفريق محترف بعد البيع لتقديم الدعم الفني في أي وقت لمساعدتك في حل المشكلات أثناء تشغيل الجهاز.

تصرف الآن لتأمين سلسلة إمدادات الأكسجين الخاصة بك

✅ الحلول المخصصة:
أخبرنا بسعة سريرك وذروة الطلب على اقتراح مصمم خصيصًا.
✅ التسليم السريع:
الوحدات النمطية المسبقة للهندسة التي يتم شحنها في أسابيع {1}}.
✅ خيارات التمويل:
خطط التأجير إلى الالتحاق المتاحة.

رقم التليفون

+86 15888864725

رقم WhatsApp

+86 15888864725

بريد إلكتروني

sales@newtek-group.com

NEWTEK